視頻采集技術在四探針測試系統中的應用

四探針測試技術是半導體生產中主要監測手段之一，并且在半導體材料的測量中發揮著越來越重要的作用。四探針測試技術是一種測量技術，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結構、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低于1mm。在大片徑樣品測量中，要盡可能地減小測量區域，以便好地觀測樣品電阻率的不均勻性。

鑒于以上原因，在測量時需要對測試臺、樣品和探針都進行細微的實時監測，保證測量是在允許的情況下進行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產生誤判，而且不能進行記錄，會給測量結果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題，但是檢測起來還是相當麻煩。視頻采集技術的發展可以很好地解決以上問題，能對測試過程進行圖像采集、記錄和分析，達到實時監測的要求，而且有很高的分辨率，方便測量員對測量過程的控制。

視頻采集技術在四探針測量中發揮著重要作用，主要體現在兩個方面：

1）對顯微鏡監測對象的圖像進行實時采集；

2）對采集到的視頻數據進行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機實現視頻信息的記錄與顯示，從而使得傳統的探針測試臺與計算機技術緊密地結合起來。

視頻采集技術的引進實現了對四探針測量過程真正意義上實時監測，提高了測試儀的控制精que性，從而提高了測量結果的精度和準確性，尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。