高溫四探針測試儀運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準，利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
高溫四探針測試儀操作步驟：
1、先松開筆身尾部端側面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉時同步旋轉，防止扭線斷線，短接；
2、輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，將斷針從銅片卡口座里取下即可；
3、特別注意一定不能位置錯亂，位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接；
4、安裝時絕緣片按照拆下時的排列輕輕塞進探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲；
5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部。
注意事項：
1、操作高溫四探針測試儀前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象
4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針
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